分子结构级化学污染物AMC和空气化学过滤器
张 凯
引言 简略讲述了空气中的分子结构级化学污染物AMC的源头与特点，选用理论基础研究和实验分析结合的研究思路，尝试了操纵AMC的主要设备——气体化学过滤器针对SO2，NH3去除高效率，主要科学研究上下游浓度值、环境温度、环境湿度、排风量（面风力）对以上二种汽体污泥负荷产生的影响，所取得的结果能够为AMC操纵、化学过滤器的研发及运用提供借鉴。
关键字 分子结构级化学污染物AMC 气体化学过滤器 污泥负荷检测
1 序言
现如今信息时代中，半导体设备工业生产变成战略性的基础工业，其技术实力已经成为考量一个国家发展、科技创新和国防实力的重要标志。对半导体设备工业生产而言，空气中的伤害生产工艺流程与产品并*终造成产出率下降的化合物，称之为分子结构级污染物质或气载分子结构污染物质AMC(Airborne MolecularContaminants)。目前对于AMC的预防，核心技术之一是采用气体化学过滤器。并且由于石油工业的高速发展，环境污染物也逐步展现多元性，除半导体材料工业生产外，生长环境、施工环境安全性、生态环境保护等都面临着相似的汽态分子结构环境污染的难题，能够在预见的未来，气体化学过滤器的应用可能越来越普遍。
目前我国关于空气放射性污染控制主要体现在浓度较高的或排气管污染物去除等方面的科研开发。在我国半导体产品销售市场极大，半导体设备工业生产也蓬勃发展，目前有关空气分子污染物控制系统主要是由国外企业把握与控制，绝大多数市场也由外国生产商操纵，全部配套设施商品的价格已由外资企业生产商垄断性操纵。海外因为半导体材料工业生产、环境保护工业的发展，气体化学过滤器清除分子态污染物技术性已经非常成熟。海外一些大生产厂家具备完善的检验技术设备，在我国气体化学过滤器销售市场历年以二位数的速度增长，但对于化学过滤器的性能试验，**对材料样品检测，但对于超大尺寸商品的测试，目前我国都还没哪一个生产厂家或机构取得相应的测试方式。
